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半导体检测的新利器—短波红外相机

随着科技的飞速发展,半导体行业对检测技术的要求越来越高。传统的检测手段已经无法满足现代半导体制造的精度和效率需求。在这样的背景下,短波红外相机以其独特的优势,成为了半导体检测领域的新宠。

因为半导体材料不吸收能量低、相对波长更长的短波红外光子,而可见光光子则因具有更高的能量和相对更短的波长被Si材料吸收,无法透过。 这使短波红外相机成为了半导体检测的优良工具,可以直接检测缺陷、杂质、孔洞或夹杂。

那么,短波红外相机在半导体检测中具体有哪些应用呢?

1. 晶圆键合缺陷检测:短波红外相机可以检测半导体材料中的微小缺陷,如裂纹、杂质和键合不良等。这些缺陷在可见光下可能难以发现,但在短波红外波段却清晰可见,下图是立鼎光电短波红外相机测试效果图。

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2.激光隐切成像:激光隐形切割装备成像系统主要由短波红外相机、同轴照明观察装置、红外光源及显微物镜组成。为解决晶圆背切,可见光相机无法穿透镀膜层而采用短波红外成像系统进行测试。

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3.热成像检测:短波红外相机可以捕捉半导体器件在工作过程中的温度分布,从而发现过热区域和潜在的故障点。这对于提高半导体器件的可靠性和寿命具有重要意义。

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总之,短波红外相机在半导体检测领域具有广泛的应用前景。随着技术的不断进步,短波红外相机必将在半导体检测领域发挥越来越重要的作用。让我们拭目以待,期待这一新技术为半导体行业带来更多突破和创新。

立鼎光电可根据客户的具体需求提供定制化的短波红外半导体检测整套解决方案,期待您的咨询029-81870090。




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