www.leadingoe.com
网站公告:

中文版 | English
短波红外相机在硅锭杂质检测中的应用

         多晶硅,是硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。

         多晶硅(polycrystalline silicon)有灰色金属光泽,密度2.32-2.34g/cm3。熔点1410℃。沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间,室温下质脆,切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性,1300℃时显出明显变形。常温下不活泼,高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,几乎能与任何材料作用。具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料。

        多晶硅产业最大的特点之一就是其对产品质量分数的要求非常高,太阳能级和电子级多晶硅的质量分数分别要求达到至少6N(99.9999%)、8N(99.999999%),而杂质含量也是公认的衡量多晶硅材料质量的重要参数之一。

         多晶硅在生产过程中的碳杂质的来源主要有以下几个来源:

1.高纯硅,这是多晶硅中碳的主要来源;

2.石墨部件的粉尘;

3.真空系统中的油脂和密封材料中的易挥发碳化物;

4.多晶硅制造气氛中的碳氢化合物污染;

5.石墨部件与氧,石英坩埚反应的产物。

    使用短波红外相机可以清晰的检测到多晶硅中的碳杂质,具体如下图所示,测试过程中使用西安立鼎光电的LD-SW6401715-C-CL短波红外相机,搭配8mm短波红外镜头,配合卤素光源观察硅锭中的杂质。

                                                                                               image.png

                                                                                                          图1 短波红外相机观察硅锭(1)

                                                                                              image.png

                                                                                                        图2 短波红外相机观察硅锭(2)

                                                                                             image.png

                                                                                                                图3 可见光观察硅锭

        由以上测试图片可知,多晶硅在1200nm波段以上的光源下呈透明状,而碳等杂质无法透过1200nm波段以上的光,所以呈现黑色。

关于短波红外相机更多详情请联系029-81870090/81778987



展开
陕ICP备16011464号